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玻璃鈍化層完整性

玻璃鈍化層完整性檢查是通過評估SiO?、Si?N?等玻璃態薄膜的連續性、致密性及缺陷狀態，確保鈍化層能有效隔離水汽、離子等污染物并抑制表面漏電，從而直接保障半導體器件的長期可靠性，避免因鈍化層失效引發的性能退化或功能故障。

美信檢測可提供專業的檢測服務，快速響應客戶需求，提供一站式高效檢測服務。

玻璃鈍化層完整性

| 項目概述

玻璃鈍化層（Glass Passivation Layer）完整性檢查是通過顯微觀察、電性能測試或特殊檢測技術，評估半導體器件表面玻璃鈍化層（通常為 SiO?、Si?N?等玻璃態薄膜）的連續性、致密性及缺陷狀態的試驗。玻璃鈍化層作為芯片表面的保護層，可隔離外界污染物（如水汽、離子）并抑制表面漏電，其完整性直接影響器件的可靠性。

| 測試目的

1、缺陷篩查：檢測玻璃鈍化層的物理缺陷（如裂紋、針孔、剝落）和結構異常，避免因保護層失效導致器件短路或腐蝕。

2、電性能驗證：確認鈍化層的絕緣性和抗擊穿能力，防止表面漏電或電場集中引發的器件失效。

3、工藝評估：驗證鈍化層沉積工藝（如 PECVD、LPCVD）的均勻性和致密性，優化薄膜生長參數（如溫度、氣體配比）。

4、可靠性預測：評估鈍化層在環境應力（如高溫、潮濕、輻射）下的穩定性，預測器件長期使用中的失效風險。

5、失效分析：當器件出現表面漏電或腐蝕失效時，通過鈍化層完整性檢查定位根因（如薄膜沉積缺陷、應力開裂）。

| 試驗標準

GJB 4027B-2021、MIL-STD-883H、GJB 548C-2021。

| 服務產品/領域

功率半導體器件、集成電路與芯片、傳感器與光電器件、軍工與航天電子、汽車電子與能源領域。

| 美信優勢

1、專業團隊：擁有多名經驗豐富的檢測工程師和技術專家。

2、先進設備：配備國際領先的檢測設備，確保檢測結果的準確性和可靠性。

3、缺陷精準定位：可檢測從微米級裂紋到納米級針孔的全尺度缺陷，提升檢測分辨率。

4、高效服務：快速響應客戶需求，提供一站式高效檢測服務。

5、權威認證：實驗室通過ISO/IEC 17025認證，檢測報告具有國際公信力。

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