
光束誘導(dǎo)電阻變化(OBIRCH)是利用激光束在恒定電壓下的器件表面進(jìn)行掃描,激光束部分能量轉(zhuǎn)化為熱能,如果金屬互聯(lián)線存在缺陷,缺陷處溫度將無法迅速通過金屬線傳導(dǎo)散開,這將導(dǎo)致缺陷處溫度累計(jì)升高,并進(jìn)一步引起金屬線電阻以及電流變化,通過變化區(qū)域與激光束掃描位置的對應(yīng),定位缺陷位置,進(jìn)而找出失效機(jī)理并進(jìn)行根因分析。
| 項(xiàng)目概述
光束誘導(dǎo)電阻變化(OpticalBeamInducedResistanceChange,OBIRCH)是利用激光束在恒定電壓下的器件表面進(jìn)行掃描,激光束部分能量轉(zhuǎn)化為熱能,如果金屬互聯(lián)線存在缺陷,缺陷處溫度將無法迅速通過金屬線傳導(dǎo)散開,這將導(dǎo)致缺陷處溫度累計(jì)升高,并進(jìn)一步引起金屬線電阻以及電流變化,通過變化區(qū)域與激光束掃描位置的對應(yīng),定位缺陷位置,進(jìn)而找出失效機(jī)理并進(jìn)行根因分析。
| 測試目的
利用OBIRCH方法,可以有效地對電路中缺陷定位,如金屬線中的空洞、通孔(via)下的空洞,通孔底部高電阻區(qū)等,也能有效的檢測短路或漏電。
| 服務(wù)產(chǎn)品/領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料:檢測材料中的金屬互聯(lián)線缺陷。
2、集成電路:分析集成電路中的失效原因,如金屬線中的空洞、通孔下的空洞等。
| 項(xiàng)目優(yōu)勢
1、靈敏度高。
2、波長探測范圍廣(近紅外)。
3、無需對樣品進(jìn)行破壞性處理。
| 美信優(yōu)勢
1、專業(yè)團(tuán)隊(duì):擁有多名經(jīng)驗(yàn)豐富的檢測工程師和技術(shù)專家。
2、先進(jìn)設(shè)備:配備國際領(lǐng)先的檢測設(shè)備,確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
3、高效服務(wù):快速響應(yīng)客戶需求,提供一站式高效檢測服務(wù)。
4、權(quán)威認(rèn)證:實(shí)驗(yàn)室通過ISO/IEC 17025認(rèn)證,檢測報(bào)告具有國際公信力。