
微光顯微鏡(Emission Microscope,EMMI)是用來做故障點定位、尋找亮點、熱點(Hot Spot)的工具,通過測量樣品加偏壓所釋放出來的光子來定位故障點。EMMI可廣泛應用于偵測各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流,包括閘極氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電放電破壞(ESD Failure)、閂鎖效應(Latch Up)、漏電(Leakage)、接面漏電(Junction Leakage) 、順向偏壓(Forward Bias)及在飽和區(qū)域操作的晶體管。
| 項目概述
微光顯微鏡(Emission Microscope,EMMI)是用來做故障點定位、尋找亮點、熱點(Hot Spot)的工具,通過測量樣品加偏壓所釋放出來的光子來定位故障點。EMMI可廣泛應用于偵測各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流,包括閘極氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電放電破壞(ESD Failure)、閂鎖效應(Latch Up)、漏電(Leakage)、接面漏電(Junction Leakage) 、順向偏壓(Forward Bias)及在飽和區(qū)域操作的晶體管。
| 測試目的
通過EMMI定位技術,快速準確地找到樣品中的熱點或亮點位置,進而分析缺陷產(chǎn)生的原因。這一技術不僅提高了故障點定位的效率,還為后續(xù)的失效分析提供了有力支持,有助于縮短產(chǎn)品研發(fā)周期,降低生產(chǎn)成本。
| 服務產(chǎn)品/領域
1、半導體材料:檢測材料中的缺陷和雜質。
2、器件缺陷檢測:識別并定位器件中的故障點。
3、集成電路:分析集成電路中的失效原因。
4、材料科學:研究材料的光電特性和失效機制。
5、納米技術:在納米尺度上定位和分析故障點。
| 項目優(yōu)勢
1、靈敏度高:能夠捕捉到微弱的光子信號,確保故障點的精確定位。
2、波長探測范圍廣:覆蓋近紅外波段,提供更廣泛的探測能力。
3、非破壞性檢測:無需對樣品進行破壞性處理,保護了樣品的完整性。
4、廣泛應用領域:適用于半導體材料、器件缺陷檢測、集成電路、材料科學及納米技術等多個領域。
| 美信優(yōu)勢
1、專業(yè)團隊:擁有多名經(jīng)驗豐富的檢測工程師和技術專家。
2、先進設備:配備國際領先的檢測設備,確保檢測結果的準確性和可靠性。
3、高效服務:快速響應客戶需求,提供一站式高效檢測服務。
4、權威認證:實驗室通過ISO/IEC 17025認證,檢測報告具有國際公信力。